技術

キヤノンオプトロンでは、半導体露光装置用として超高品質な大口径ホタル石の開発を行ってまいりました。その成果が認められ、2005年には日本結晶成長学会より技術賞を受賞しております。

高純度化技術

原料を高純度に精製する技術により、超高純度なホタル石を得ることができます。このホタル石は真空紫外域における透過特性に優れ、UVグレードとして紫外光の光学レンズとして利用されています。

大口径化技術

結晶成長およびアニール技術を進化させ、低複屈折で均質性の高い大口径ホタル石が得られるようになりました。屈折型大口径天体望遠鏡に採用され、日本各地の天文台に設置されています。

  • 結城市民情報センター
  • 雲仙諏訪の池ビジターセンター
  • さくら湖自然観察ステーション

高精度計測

キヤノンオプトロンは、お客様の要望に答えるため、全社一体となり、材料から製造、検査に至るまで徹底した高品質の作りこみとその保証に取り組んでいます。

光学用結晶材料として成長したCaF2は、光学的特性を測定し(*)、結晶材料やレンズ素材としてお客様の要望に満足していただける品質を提供しています。
(*)主な光学特性測定

・面方位 
・透過率 (@193nm)
・複屈折  (@633nm)
・ホモジニティ