キヤノンオプトロンは、光学材料メーカーとして国内ナンバーワンのシェアを誇り、金属酸化物、フッ化物を代表とする透明導電膜、反射防止膜用蒸着材料を、各種成膜方法に適した形で最高品質のものを提供してきました。この長年にわたる光学膜用蒸着材料製造技術を生かし、高品質なスパッタリングターゲットを提供しております。
AZO
ZnO系透明導電膜用ターゲット
スパッタリングターゲットの代表的な用途は、フラットパネルディスプレイ、半導体向けの他、最近では太陽電池用薄膜材料としての用途が拡大しています。キヤノンオプトロンでは、それらに使用される透明導電膜用ターゲットとして、ITOの代替材料として注目されているZnO（酸化亜鉛）系ターゲット（ZnO、AZO、GZO）の研究開発に取り組んでいます。
AZOターゲットの膜特性
図１ DCマグネトロンスパッタ法によるAZO膜の成膜例
図２ 改良されたAZOターゲットのアーキング特性
図３ DCマグネトロンスパッタ法によるGZO膜の成膜例