現在、薄膜の利用は実にさまざまな産業の分野に及んでいます。レンズ類の反射防止膜、レーザーフィルター、ミラー、液晶ディスプレイパネル、建築用ガラス、等々。それらの源となる材料、それが蒸着材料であり、多種多様な目的に応じて多くの種類・形状・サイズのものが使用されます。キヤノンオプトロンでは１９７７年に蒸着材料の量産を開始して以来、粉体制御・成型技術や焼結・融解技術によって、ユーザーの皆様それぞれのニーズにお応えする蒸着材料の提供をしてきました。昨今、テクノロジーの高度化に伴って薄膜に要求されるレベルが高まり、蒸着材料にもより一層の高品質・高機能化が求められています。そうした中、キヤノンオプトロンでは独自の研究開発によって培った最先端技術により、各種製膜方法に適した最高品質の蒸着材料を提供してまいります。
ペレット系材料
取り扱いが容易な各種形状のペレットが用意されており、お使いのハースライナーに合ったものをお選びいただけます。電子銃などの強力なエネルギーに耐えうる高耐熱衝撃性材料のペレットも取り揃えています。
粒状系材料
蒸着材料の継ぎ足しが可能であり、連続蒸着に適しています。また、薄膜の強度や耐久性に悪影響を及ぼす蒸着材からの放出ガスを低レベルに抑えた脱ガス品もあります。
機能性材料
撥水性や防汚性等、光学的特性以外の特殊な機能を持つ有機薄膜を作製するための蒸着材料です。従来の溶剤を用いた塗布プロセスとは異なり、真空蒸着により被膜を形成するため、反射防止膜形成から連続して撥水・防汚処理を行うことが可能です。
ＯＦ−ＳＲについて
ＯＦ−ＳＲの特徴
- 撥水性：水滴の付着低減、水ヤケ防止
- 防汚性：指紋の付着低減、拭取り容易、性能長期持続
- 傷防止性：滑り向上により傷発生防止
- プロセス：標準的な真空蒸着プロセスで成膜可能（抵抗加熱方式・電子銃方式）
＊ガラス基板、またはＳｉＯ２膜上で、より効果発現
基本性能
- 接触角（2.5μL）：１１０°（純水），７０°（Squalanオイル）
- 転落角（5μL）：６°（純水），２°（Squalanオイル）
- 耐摩耗性：１９００回以上（スチールウール，１ｋｇ加重）
- 耐湿性：60℃/90%/240Hr放置前後で接触角・転落角変化なし
耐磨耗試験
- 摩擦材料： スチールウール(♯000)
- 摩擦荷重： １kg
- 摩擦距離（速度）： １０mm（４０mm/s）
- 連続摩擦回数： ２０回
＊摩擦２０回毎にインク拭取り試験実施、ＮＧになるまで継続
蒸着材料製品一覧
| 屈折率 ※1 |
製品名 | 主成分 | ペレット ※3 |
粒状 ※4 |
備考 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 光学膜材料 | 1.33 | チオライト | Na5Al3F14 | ○ | ○ | |
| 1.35 | クリオライト | Na3AlF6 | - | ○ | ||
| 1.36 | AlF3 | AlF3 | - | ○ | ||
| 1.38 | MgF2 | MgF2 | - | ○ | ||
| 1.43 | CaF2 | CaF2 | - | ○ | ||
| 1.47 | SiO2 | SiO2 | ○ | ○ | ||
| 1.48 | BaF2 | BaF2 | - | ○ | 赤外域透明 | |
| 1.48 | S4F | SiO2+Al2O3 | ○ | ○ | ||
| 1.48 | S5F | SiO2+Al2O3 | ○ | ○ | ||
| 1.52 | YF3 | YF3 | - | ○ | ||
| 1.59 | LaF3 | LaF3 | ○ | ○ | ||
| 1.60 | CeF3 | CeF3 | ○ | ○ | ||
| 1.60 | NdF3 | NdF3 | - | ○ | ||
| 1.64 | Al2O3 | Al2O3 | ○ | ○ | 酸素導入で安定 | |
| 1.69 | OM-4 | ZrO2+Al2O3 | ○ | ○ | ||
| 1.7-2.0 | SiO | SiO | ○ | ○ | ||
| 1.74 | MgO | MgO | ○ | ○ | ||
| 1.75 | OM-6 | ZrO2+Al2O3 | ○ | - | ||
| 1.81 | Y2O3 | Y2O3 | ○ | ○ | ||
| 1.99 | I.T.O | In2O3+SnO2 | ○ | ○ | 透明導電膜 | |
| 2.00 | OH-14 | La2Ti2O7 | - | ○ | ||
| 2.00 | SnO2 | SnO2 | ○ | - | ||
| 2.05 | OA-100 | Ta2O5 | ○ | ○ | 酸素導入必要 | |
| 2.06 | HfO2 | HfO2 | ○ | ○ | 紫外域透明 | |
| 2.07 | ZrO2 | ZrO2 | ○ | ○ | ||
| 2.13 | CeO2 | CeO2 | ○ | ○ | 紫外線吸収 | |
| 2.14 | WO3 | WO3 | ○ | - | ||
| 2.16 | OH-6 | ZrO2+TiO2 | ○ | - | ||
| 2.18 | OH-5 | ZrO2+TiO2 | ○ | ○ | ||
| 2.20 | Ta2O5 | Ta2O5 | ○ | ○ | ||
| 2.22 | OA-500 | Ta2O5+ZrO2 | - | ○ | ||
| 2.24 | OA-600 | Ta2O5+TiO2 | - | ○ | ||
| 2.31 | OS-50 | Ti3O5 | - | ○ | 酸素導入必要 | |
| 2.33 | OS-10 | Ti4O7 | - | ○ | 酸素導入必要 | |
| 2.33 | Ti2O3 | Ti2O3 | ○ | - | 酸素導入必要 | |
| 2.35 | TiO | TiO | - | ○ | 酸素導入必要 | |
| 2.35 | TiO2 | TiO2 | ○ | ○ | ||
| 2.37 | Nb2O5 | Nb2O5 | - | ○ | ||
| 2.37 | 脱ガスNb2O5 | Nb2O5 | - | ○ | 酸素導入必要 | |
| 2.39 | ZnS | ZnS | ○ | ○ | ||
| 3.48※2 | Si | Si | - | ○ | 赤外域透明 | |
| 金属膜他材料 | - | Ag | Ag | - | ○ | |
| - | Al | Al | - | - | 主に形状はワイヤー | |
| - | Au | Au | - | - | 主に形状はワイヤー | |
| - | Cｒ | Cｒ | - | ○ | ||
| - | Ni | Ni | - | ○ | ||
| 機能膜材料 | 1.35 | OF-SR | 撥油材 | - | - | 有機材 |
| 1.35 | OF-210 | 撥水材 | - | - | 有機材 |
※1）屈折率は波長500nmでの参考値。
※3）※4）形状の違いを表すものです。
※2）波長1550nmでの参考値。
材料の透過波長領域と屈折率の参考値
1)図中に表示の屈折率は500nmでの測定値
2)透過域は当社測定で2mm厚さで透過率が10%になる波長と屈折率の参考値